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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）, 多种配件供客户选择.
涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格
型号 | HiPace 1200 TC 1200 | HiPace 1200 TC 1200 | HiPace 1200 TC 1200 |
Ar 压缩比 | >1X108 | >1X108 | >1X108 |
H2 压缩比 | 6X103 | 6X103 | 6X103 |
He 压缩比 | 2X104 | 2X104 | 2X104 |
N2 压缩比 | >1X108 | >1X108 | >1X108 |
大预抽真空, N2 hPa | 2 | 2 | 2 |
Ar全转速时气体流量hPa l/s | 11 | 11 | 6 |
H2 全转速时气体流量hPa l/s | >30 | >30 | >30 |
He全转速时气体流量hPa l/s | >30 | >30 | 16 |
N2 全转速时气体流量hPa l/s | 20 | 20 | 16 |
操作电压 V AC | 100-120 / 200-240 | 100-120 / 200-240 | 100-120 / 200-240 |
大电流 A | 10 | 10 | 10 |
允许大磁场 mT | 6 | 6 | 6 |
Ar抽速l/s | 1200 | 1200 | 1200 |
H2 抽速l/s | 1100 | 1100 | 1100 |
He 抽速 l/s | 1300 | 1300 | 1300 |
N2 抽速l/s | 1250 | 1250 | 1250 |
转速 ± 2 % rpm | 37800 | 37800 | 37800 |
启动时间 min | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
极限真空 hPa | 1X10-7 | 1X10-7 | 5X10-10 |
重量 kg | 29.5 | 30.5 | 40.9 |
分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE
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若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请联络上海伯东邓女士，分机134