对一些精密复杂的模具可采用预先热处理、时效热处理、调质氮化热处理来控制模具的精度。
在修补模具砂眼、气孔、磨损等缺陷时，选用冷焊机等热影响小的修复设备以避免修补过程中变形的产生。
热处理厂阐述另外，正确的热处理工艺操作(如堵孔、绑孔、机械固定、适宜的加热方法、正确选择模具的冷却方向和在冷却介质中的运动方向等)和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
其实，寮步真空热处理，真空热处理加工技术在国外应用的较早，美国和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水剂淬火介质，东坑真空热处理，从而，真空淬火技术在热处理行业得到迅速发展，从单室炉发展到了多组合机群，万江真空热处理，从一般的真空淬火发展到高压气淬、真空水剂淬火、真空渗碳、真空碳氮共渗及多元共渗等。
我们知道热处理过程中加热过热易导致奥氏体晶粒的粗大，使零件的机械性能下降。一般过热：加热温度过高或在高温下保温时间过长，真空热处理，引起奥氏体晶粒粗化称为过热。粗大的奥氏体晶粒会导致钢的强韧性降低，脆性转变温度升高，增加淬火时的变形开裂倾向。而导致过热的原因是炉温仪表失控或混料（常为不懂工艺发生的）。过热组织可经退火、正火或多次高温回火后，在正常情况下重新奥氏化使晶粒细化。
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