真空热处理是负压气氛下的热处理，其加热过程称为真空加热。这个过程要维持的气压状态（工作压力或工作真空度一般在10010-3Pa左右。根据气体分析，真空炉在此压力下的残余气体，如水蒸气、氧气、二氧化碳、油脂等有机蒸气含量很小，不足以使处理后的金属材料产生氧化、脱碳、渗碳等。真空加热时，茶山真空热处理，由于大气中的氧分压低于被加热金属表面氧化物的分解压力，氧化受到抑制，因此处理后的金属表面亮度与原始表面相比可以在很大程度上保持不变。可见，真空不仅能保护工件不受热，还能保持金属原有的光亮表面，所以真空热处理也属于光亮热处理范畴。
表面热处理是只加热工件表层，真空热处理，以改变其表层力学性能的金属热处理工艺。为了只加热工件表层而不使过多的热量传入工件内部，使用的热源须具有高的能量密度，寮步真空热处理，即在单位面积的工件上给予较大的热能，使工件表层或局部能短时或瞬时达到高温。表面热处理的主要方法有火焰淬火和感应加热热处理，常用的热源有氧yi炔或氧丙烷等火焰、感应电流、激光和电子束等。
与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
其实，真空热处理加工技术在国外应用的较早，美国和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水剂淬火介质，从而，真空淬火技术在热处理行业得到迅速发展，从单室炉发展到了多组合机群，从一般的真空淬火发展到高压气淬、真空水剂淬火、真空渗碳、真空碳氮共渗及多元共渗等。
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