零件的抗蚀性与抗高温氧化性：表面热处理可提高零件抗大气腐蚀性能；钢件渗铝、渗铬、渗硅后，与氧或腐蚀介质作用形成致密、稳定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保护膜，提高抗蚀性及高温扛氧化性。
钢件硬化的同时会带来脆化。用表面热处理方法提高表面硬度时，仍能保持心部处于较好的韧性状态，是我们在进行使用时能够强化本身的硬度，同时又为我们生产中带来良好的发展。
一般来说，寮步真空热处理，被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，佛山真空热处理，热应力小，因而变形小。产品合格率高。可降低成本，有除气作用，从而提高了工作的机械性能和使用寿命。
工作环境好，操作安全，没有污染和公害。被处理的工件没有氢脆危险，真空热处理，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，深圳真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，开发深圳真空热处理设备和工艺被越来越重视和应用越来越广。
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